核心技术
高精度电源
真空系统
工艺菜单管理系统
高精度温控系统
籽晶控制、隔离组件
突发情况处理组件
内部平衡控制系统

产品优势
            自动闭环控制
            历史数据库
            故障分级排除
            高稳定热场
            工艺菜单式管理
            精确温度控制

解决问题
    手工操作
    成品率低
    一致性差
    位错密度大